(1)废微电子元件的预处理

　　将元件用洗涤灵浸泡，以除去其表面油污。

　　(2)HNO3溶解

　　(3)铂系元素对酸的化学稳定性比所有金属都高，钯是铂系元素中最活泼的一个，它可溶于浓硝酸或热硫酸，银易溶于硝酸或浓硫酸，元件PdAgCuNiO,1~10与NHO3发生下列反应

　　Pd+4HNO3=Pd(NO3)2+2NO2+2H2O

　　Ag+2HNO3=Ag NO3+ NO2+H2O

　　3Cu+ 8HNO3=3Cu(NO3) 2+ 2NO+4H2O

　　Ni+4 HNO3=Ni(NO3) 2 +2 NO2+2H2O

　　Pd、Ag、Cu、Ni和其它贱金属则与HNO3作用生成硝酸盐类进入溶液，在于HNO3作用过程中，还有部分亚硝基化合物生成。硝酸与元件开始反应激烈，HNO3可稀释或分次加入，待反应缓慢时，加热煮沸后，过滤，洗涤至洗液无色。

　　(3)Ag 的分离

　　卤化银在Ag NO3溶液中加入可溶性卤化银（如NaCl等）可生成不同颜色的卤化银沉淀，AgCl的溶解度很低，在水中21℃时为1.54g/L,因此在氯离子足够的情况下，可以定量将银从溶液中分离出来。

　　将NaCl饱和溶液慢慢加入，搅拌，静置数小时，使Ag得到定量沉淀。注意NaCl的加入量要适量，过多，使AgCl沉淀与Cl -结合生成银离子AgCl，影响AgCl沉淀形成，过少，使Ag得不到定量沉淀，给分离Pd带来困难。

　　(4)提纯Ag的试验方法及结果

　　可将上述AgCl沉淀溶于浓氨水中，得到下列反应

　　2AgCl+4NH3=2[Ag(NH3) 2]+ Cl2

　　反应较激烈，应将沉淀缓慢加入，待生成银络合离子后，不应放置过久，或加高热温度，否则有爆炸危险。加适量试剂还原、得到海绵银，海绵银加HNO3溶解后，再加入NaCl生成AgCl沉淀，如此反复数次试验，即可回收银，经精制后银纯度很高，最终产品海绵银纯度在99.95%以上。

　　(5)Pd的分离

　　取分离Ag后的溶液浓缩，加HCl赶HNO3，此时溶液中Pd(NO3) 4转变为氯钯酸H2[PdCl6],部分Pd(NO3) 4也转变为统一的H2[PdCl6]，随着溶液的煮沸而形成亚氯钯酸Pd(NO3) 4，在赶HNO3的过程中铜和其它贱金属也转变成氯化物。

　　赶HNO3至无黄色气体逸出，用水稀释，加入黄药。因黄药与铂族金属作用形成难溶还原酸盐，可使钯Pd(C2H5OCSS)2能有效地从溶液中沉淀，得到回收而与贱金属分离。此时乙基还原酸钯的溶度积为3×10-43.由于还原酸钯的溶度积比一般常见的贱金属和银低得多，可选择性沉淀。[1]为了降低沉淀剂消耗，可在40~50℃温度时加入理论量黄药，即1gPd需黄药1.1g~1.2g,在酸性条件下搅拌1小时，静置数小时，过滤，滤渣待回收钯。

　　对于含钯量低的废料回收，此法操作简单、快捷、处理费用低，Pd沉淀率达99%，缺点是黄药有难闻臭味。

　　(6)提纯Pd的试验方法及结果

　　氨是一种很强的络合物配位体，利用NH4OH与Pd（II）形成肉色Pd2(NH3)4Cl4沉淀原理[3],在pH=8时，生成红色的Pd2(NH3)4Cl4沉淀原理[3]，在pH=8时，生成红色的[Pd(NH3)4][PdCl6]盐，部分贱金属生成氨氧化物，继续加入NH4OH至pH=11左右，上述盐类变成Pd2(NH3)4Cl4溶于NH4OH中，部分贱金属也形成氨络合物。滤液呈酸性状态时，Pd以Pd2(NH3)4Cl4德形式沉出，其它贱金属形成氯化物留在溶液中。将滤干Pd2(NH3)4Cl4]用氨络合-酸化方法反复数次，即可回收Pd。精制以后海绵钯纯度可达99.95%以上。贱金属含量不超过0.01%。